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      半导体无尘车间技术方案

      作者:超级管理员 浏览量:599 来源:本站 时间:2022-06-23 09:50:36

      信息摘要:

      以下半导体无尘车间的相关的技术和使用管理办法:1.半导体洁净车间内部要确保粉尘只出不进,因此洁净车间室内要保持大于大气压的环境。这就需要用大型鼓风机将经桃子视频成人看片APP设备的空气源源不绝地打入洁净车间中。2.为保持恒温与恒湿,大型空调设备须搭配前述之鼓风加压系统使用。鼓风机加压多久,空调就得开多久。3.所有经桃子视频成人看片APP设备

      以下半导体无尘车间的相关的技术和使用管理办法:


      1.半导体无尘车间内部要确保粉尘只出不进,因此洁净车间室内要保持大于大气压的环境。这就需要用大型鼓风机将经桃子视频成人看片APP设备的空气源源不绝地打入洁净车间中。


      2.为保持恒温与恒湿,大型空调设备须搭配前述之鼓风加压系统使用。鼓风机加压多久,空调就得开多久。


      3.所有经桃子视频成人看片APP设备的空气流动方向均由上往下为主,因此,洁净车间室内空间设计或机台摆放应避免突兀,使尘埃细菌等在洁净车间内回旋停滞的机会与时间减至最低程度。


      4.所有建材均以不易产生静电吸附的材质为主。


      5.所有人或事物进出洁净车间,人必须穿配套防尘服,人或事物都要经过风淋室吹淋以将表面粉尘先行除掉。


      6.半导体无尘车间内水的使用只限用去离子水。一则防止水中粉粒污染晶圆,二则防止水中重金属离子(如钾、钠离子)污染金氧半晶体管结构之带电载子信道,影响半导体组件的工作特性。去离子水是最佳的溶剂与清洁剂,在半导体工业之使用量极为惊人!


      7.半导体无尘车间所有用得到的气源,包括吹干晶圆及机台空压所需要的,都得使用氮气 (98%),吹干晶圆的氮气甚至要求99.8%以上的高纯氮。


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